JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
标准名称：真空技术 溅射离子泵
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
标准编号：JB/T 4081-2011
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
标准编号：JB/T 4081-2011
规范名称：真空技术 溅射离子泵
适用范围：
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
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