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YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶

YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶

简介

YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶

标准编号:YS/T 718-2009

规范名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶

适用范围:

本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材。

全国有色金属标准化技术委员会

起草单位:利达光电股份有限公司

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

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