YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
标准名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
发布日期:2009-12-04
实施日期:2010-06-01
标准编号:YS/T 718-2009
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:YS/T 718-2009
规范名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
适用范围:
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:利达光电股份有限公司
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无