GB/T 23611-2023 金及金合金靶材

GB/T 23611-2023 金及金合金靶材

标准编号：GB/T 23611-2023

规范名称：金及金合金靶材

该国家标准规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

该国家标准适用于半导体电子器件用金及金合金靶材(以下简称“靶材”。

全国有色金属标准化技术委员会

起草单位：有研亿金新材料有限公司、贵研铂业股份有限公司、有研资源环境技术研究院（北京）有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、深圳市众城达应用材料科技有限公司

起草人：罗瑶、吕保国、黄晓猛、窦程亮、段华英、刘满门、林烽先、吴卫煌、江轩、王鹏、关静、罗远辉、朱武勋、张博厚、黄勇彪

GB/T 23611-2023 金及金合金靶材(图)