YS/T 937-2013 镍铂靶材
标准名称:镍铂靶材
发布日期:2013-10-17
实施日期:2014-03-01
标准编号:YS/T 937-2013
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:YS/T 937-2013
规范名称:镍铂靶材
适用范围:
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无